Microscopie en champ proche

Plateformes de Caractérisation topographique et électrique des surfaces par microscopie à force atomique (AFM)

Atomic Force Microscopy (AFM) Platform
 
Description générale :

Cinq ensembles complets de microscopie AFM, couplés chacun à un module de mesures électriques «Résiscope», permettant la cartographie simultanée de la topographie et de la résistance locale, ainsi que de la friction en mode LFM.

Fonctionnalités et caractéristiques :

Les cinq ensembles AFM sont complémentaires : ils permettent de couvrir une large gamme de taille d’échantillons (du mm au dm) dans des conditions environnementales variées (basses pressions jusqu’à 10-3 mbar, gaz neutre, humidité contrôlée, température variable de Tamb à 250°C).

Techniques de mesures électriques possibles:

  • - Imagerie électrique locale de courant ou résistance en modes contact et intermittent
  • - Spectroscopie électrique locale courant (ou résistance)/tension et approche/retrait

Principales caractéristiques des modules électriques Résiscope:

  • - Dynamique de mesure: 102 à 1013 Ω
  • - Plage de polarisation DC: ±10 mV à ±10 V
  • - Fréquence d'actionnement en Z en mode intermittent: 100Hz → 2kHz
Domaines d’applications :

Caractérisation à l’échelle submicronique de matériaux massifs ou en couches minces de tous types: conducteurs, semi-conducteurs, supraconducteurs, composites…

Utilisateurs :

Groupes de recherche et développement sur les matériaux et/ou dispositifs utilisant ces matériaux

 

 

Détail des Equipements de la plateforme Microscopie AFM au GeePs


AFM MultiMode (Bruker)
AFM MultiMode (Bruker) Tailles de scan maxi :
  • - Grand scan:
    XY: 100µm x 100µm, Z: 5µm
  • - Haute résolution:
    XY: 10µm x 10µm, Z: 2,5µm
Types de mesure:
  • - Mode Contact
  • - Tapping
  • - LFM
  • - Mesures en milieu liquide
  • - Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact

AFM PicoPlus (Agilent)
AFM PicoPlus (Agilent) AFM équipé d'un asservissement de type "Close Loop" et d'un dispositif analogique paramétrable d’intermittence (WITec)

Tailles de scan maxi :
  • XY: 90µm x 90µm, Z: 8µm
Types de mesure:
  • - Mode Contact/Tapping
  • - LFM/MFM
  • - Modulation de force
  • - Mesures en milieu liquide et en chambre environnementale
  • - Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact et en mode intermittent (100Hz -> 2kHz)

AFM EnviroScope (Bruker)
AFM EnviroScope (Bruker) AFM placé dans une chambre à vide (-> 10-3 Torr).
  • - L'ensemble du microscope est placé dans une "boite à gants" pour la préparation et la manipulation d'échantillons sensibles à l'environnement.
  • - Mesures possibles en température (Amb. -> 250°C).
Tailles de scan maxi :
  • XY: 90µm x 90µm, Z: 5µm
Types de mesure:
  • - Mode Contact
  • - Tapping
  • - KFM/LFM/EFM/MFM
  • - Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact

AFM PicoMaps (Agilent)
AFM PicoMaps (Agilent) AFM dédié aux grands échantillons.
Platine XYZ optionnelle permettant de très larges scans

Tailles de scan maxi :
  • - AFM conventionnel:
    XY: 100µm x 100µm, Z: 8µm
  • - AFM sur platine nPoint:
    XY: 500µm x 500µm, Z: 70µm
Types de mesure:
  • - Mode Contact
  • - LFM/EFM/MFM
  • - Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact

AFM Nano-Observer (CSI)
AFM Nano-Observer (CSI) < AFM dédié à l'enseignement.
Tailles de scan maxi :
  • - AFM conventionnel:
    XY: 100µm x 100µm, Z: 8µm
  • - AFM sur platine nPoint:
    XY: 500µm x 500µm, Z: 70µm
Types de mesure:
  • - Mode Contact et tapping
  • - Modulation de force
  • - HD-KFM
  • - Résiscope
  • - Soft/Résiscope
  • - LFM/MFM/EFM

 

Tarification des prestations AFM Topographique et Electrique au GeePs

Prix forfaitaire à la demi-journée (Tarif en vigueur au : 01/01/16)

Nom de l'AFM

Topographie (Contact/Tapping)

Mesures Electriques

Multimode

400€

+200€

Enviroscope

400 / 500€ (Environnement Contrôlé)

+200€

PicoPlus

400 / 500€(mode intermittent)

+200€

PicoMaps

400 / 500€(Platine grands scans)

+200€



  Contact: Pascal Chrétien : pascal.chretien[@]geeps.centralesupelec.fr