www.geeps.centralesupelec.fr - Microscopie en champ proche

Cinq ensembles complets de microscopie AFM, couplés chacun à un module de mesures électriques «Résiscope», permettant la cartographie simultanée de la topographie et de la résistance locale, ainsi que de la friction en mode LFM.

Fonctionnalités et caractéristiques :

Les cinq ensembles AFM sont complémentaires : ils permettent de couvrir une large gamme de taille d’échantillons (du mm au dm) dans des conditions environnementales variées (basses pressions jusqu’à 10-3 mbar, gaz neutre, humidité contrôlée, température variable de Tamb à 250°C).

Techniques de mesures électriques possibles:

- Imagerie électrique locale de courant ou résistance en modes contact et intermittent
- Spectroscopie électrique locale courant (ou résistance)/tension et approche/retrait

Principales caractéristiques des modules électriques Résiscope:

- Dynamique de mesure: 102 à 1013 Ω
- Plage de polarisation DC: ±10 mV à ±10 V
- Fréquence d'actionnement en Z en mode intermittent: 100Hz → 2kHz

Domaines d’applications :

Caractérisation à l’échelle submicronique de matériaux massifs ou en couches minces de tous types: conducteurs, semi-conducteurs, supraconducteurs, composites…

Utilisateurs :

Groupes de recherche et développement sur les matériaux et/ou dispositifs utilisant ces matériaux

Détail des Equipements de la plateforme Microscopie AFM au GeePs

AFM MultiMode (Bruker)

Tailles de scan maxi :

- Grand scan:
XY: 100µm x 100µm, Z: 5µm
- Haute résolution:
XY: 10µm x 10µm, Z: 2,5µm

Types de mesure:

- Mode Contact
- Tapping
- LFM
- Mesures en milieu liquide
- Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact

AFM PicoPlus (Agilent)

AFM équipé d'un asservissement de type "Close Loop" et d'un dispositif analogique paramétrable d’intermittence (WITec)

Tailles de scan maxi :

XY: 90µm x 90µm, Z: 8µm

Types de mesure:

- Mode Contact/Tapping
- LFM/MFM
- Modulation de force
- Mesures en milieu liquide et en chambre environnementale
- Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact et en mode intermittent (100Hz -> 2kHz)

AFM EnviroScope (Bruker)

AFM placé dans une chambre à vide (-> 10-3 Torr).

- L'ensemble du microscope est placé dans une "boite à gants" pour la préparation et la manipulation d'échantillons sensibles à l'environnement.
- Mesures possibles en température (Amb. -> 250°C).

Tailles de scan maxi :

XY: 90µm x 90µm, Z: 5µm

Types de mesure:

- Mode Contact
- Tapping
- KFM/LFM/EFM/MFM
- Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact

AFM PicoMaps (Agilent)

AFM dédié aux grands échantillons.
Platine XYZ optionnelle permettant de très larges scans
Tailles de scan maxi :

- AFM conventionnel:
XY: 100µm x 100µm, Z: 8µm
- AFM sur platine nPoint:
XY: 500µm x 500µm, Z: 70µm

Types de mesure:

- Mode Contact
- LFM/EFM/MFM
- Mesure Electrique AFM/Résiscope en mode contact

AFM Nano-Observer (CSI)

< AFM dédié à l'enseignement.
Tailles de scan maxi :

- AFM conventionnel:
XY: 100µm x 100µm, Z: 8µm
- AFM sur platine nPoint:
XY: 500µm x 500µm, Z: 70µm

Types de mesure:

- Mode Contact et tapping
- Modulation de force
- HD-KFM
- Résiscope
- Soft/Résiscope
- LFM/MFM/EFM

Tarification des prestations AFM Topographique et Electrique au GeePs

Prix forfaitaire à la demi-journée (Tarif en vigueur au : 01/01/16)
Nom de l'AFM	Topographie (Contact/Tapping)	Mesures Electriques
Multimode	400€	+200€
Enviroscope	400 / 500€ (Environnement Contrôlé)	+200€
PicoPlus	400 / 500€(mode intermittent)	+200€
PicoMaps	400 / 500€(Platine grands scans)	+200€

Contact: Pascal Chrétien : pascal.chretien[@]geeps.centralesupelec.fr

^ Top