Microscopie confocale

Plateforme de microscopie confocale (µ-Raman, µ-photoluminescence, AFM) Confocal microscopy

Notre plateforme de microscopie confocale regroupe des techniques de spectroscopies optiques ainsi que des techniques de microscopie en champ proche. La complexité et la miniaturisation des systèmes à base de semi-conducteurs implique que des techniques de caractérisation soient couplées à l’échelle sub-micronique. L’instrument regroupe des techniques tout optiques sans contact comme les spectroscopies µ-Raman et de µ-Photoluminescence. La détection peut se faire en transmission ou en rétrodiffusion. La source laser ainsi que le guidage du signal Raman/PL vers les spectromètres est assuré par des fibres optiques, ce qui permet d’éviter un alignement systématique des optiques. Un spectre peut être collecté entre chaque déplacement des platines piezo-électriques, ainsi il est possible de représenter l’information sous forme de cartographies de surface ou en profondeur (pour les matériaux peu absorbants). Le caractère confocal permet de s’affranchir des limites de la diffraction de la lumière, ce qui entraine une meilleure résolution spatiale ainsi qu’une zone d’excitation lumineuse plus localisée.


Plateforme de microscopie confocale Synoptique de la détection en configuration rétrodiffusée
Plateforme de microscopie confocale. Synoptique de la détection en configuration rétrodiffusée