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EMERALD (ElectroMagnetic imaging for a novel
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Micro-photoluminescence
Configuration PL : 
La spectroscopie de photoluminescence est basée sur le phénomène d’absorption de la lumière. A l’aide d’une source laser ayant une énergie supérieure à celle de la valeur de la bande interdite du matériau, on créer des paires électron-trous qui en se recombinant vont émettre des photons d’énergie très proche de la valeur de bande interdite du semi-conducteur. En cas de présence de défauts et à fort dopage (>1017cm-3), des transitions sous le gap peuvent apparaitre. En atmosphère et température contrôlée (70-300K à 5mTorr), ces transitions sont mises davantage en évidence. Les longueurs d’onde d’excitation disponibles sont : 532, 640 et 785nm.
Caractéristiques en PL :
- - Longueurs d’onde d’excitation= 532, 640 et 785 nm
- - Diaphragme confocal: fibres optiques de diamètre de cœur: 50 et 200 µm.
- - Gamme spectrale d’analyse:
- -- De 530 à 1000nm
- * Résolution: 0,2nm (600 tr/mm)
- -- De 800 nm à 1700nm
- * Résolution: 0,5 et 1 nm (300 et 150 tr/mm)
- -- De 530 à 1000nm
- - longueur d’onde d’émission de fluorescence. Typiquement si 600nm<λPL<1100nm, 250nm<Rxy<500nm et 1μm<Rz<2μm avec Rxy la résolution latérale et Rz en profondeur.